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東麗開發(fā)出遷移率達(dá)13cm2/Vs的涂布型CNT-TFT,2016年實(shí)用化

2014年02月17日09:06    

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東麗2014年2月12日宣布,采用單層碳納米管(CNT)制造的涂布型TFT獲得了較高的工作性能,載流子遷移率達(dá)到13cm2/Vs,電流的導(dǎo)通/截止比達(dá)到106。東麗表示,計(jì)劃2016年前后實(shí)現(xiàn)實(shí)用化。

東麗試制的單層CNT-TFT(攝影:東麗)

東麗在日本新能源產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合開發(fā)機(jī)構(gòu)(NEDO)的項(xiàng)目中,進(jìn)行著利用單層CNT與有機(jī)半導(dǎo)體的復(fù)合化開發(fā)涂布型TFT的研究。這是一種通過抑制單層CNT凝集,使溶液中的單層CNT實(shí)現(xiàn)均勻分散的技術(shù)。

提高單層CNT的半導(dǎo)體純度,載流子遷移率相應(yīng)提高且偏差減小

除了前面提到的半導(dǎo)體復(fù)合化及均勻分散化技術(shù)之外,此次在制造TFT時(shí)還采用了技術(shù)研究聯(lián)盟單層CNT融合新材料研究開發(fā)機(jī)構(gòu)(TASC)開發(fā)的、具有極高半導(dǎo)體純度的單層CNT。由此成功提高了TFT的載流子遷移率。

另外,通過利用這種單層CNT,還將TFT間的特性偏差降低到了原來的1/4。此前,材料中的金屬型單層CNT會使電極間發(fā)生短路,導(dǎo)致偏差增大,而此次大幅減小了短路的發(fā)生概率,從而減少了特性偏差。

東麗表示,將在2014年3月17~20日舉行的第61屆應(yīng)用物理學(xué)會春季學(xué)術(shù)演講會上發(fā)布此次的成果。(作者:野澤 哲生,日經(jīng)技術(shù)在線!供稿) 

(責(zé)編:值班編輯、莊紅韜)

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